Concept information

технология > плазменная технология

Preferred term

плазменная технология  

Definition

  • 1) Общий термин, применяемый по отношению к ряду промышленных применений плазмы, например, травление полупроводниковых плат, нанесение слоя кремния при производстве солнечных батарей, нанесение слоя диоксида кремния в ходе пассивации и активации поверхностей, плавка и сварка с помощью плазменной дуги, а также плазменная химия. 2) Плазменная технология основана на использовании маленьких, наполненных газом ячеек, испускающих свет при прохождении через них электрического тока.

Broader concept

Belongs to group

URI

http://www.eionet.europa.eu/gemet/concept/6327

Download this concept:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Created 9/8/04, last modified 9/8/04